Estos planetarios han sido
diseñados de forma que puedan ser introducidos y extraídos completamente cargados de la
cámara del reactor PVD. De esta manera se consigue reducir substancialmente el tiempo de
las operaciones de carga y descarga dando mayor productividad a sus instalaciones.
Estos planetarios se apoyan sobre el fondo de la cámara, dejando al eje de
rotación las únicas funciones de transmitir el movimiento y la corriente eléctrica.
Estos planetarios presentan una gran facilidad de mantenimiento. |